제품소개
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Yttria
Yttria(Y2 O3) 분말: 내식성/내플라즈마 등을 요구하는 소재 원료
반도체 및 디스플레이 파츠류 코팅재
| 주요특성 | - 분말) 25~35㎛ 크기의 sintered granule - 코팅) 내식성 및 내플라즈마성 |
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| 사용 용도 | - 반도체 및 디스플레이 Dry etching 공정 파츠류의 에칭 방지용 코팅재 |
Bulk 세라믹스 소결용 분말(Granule)
| 주요특성 | - 분말) Fine한 구형의 granule - Bulk 세라믹) 내식성 및 내플라즈마성 |
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| 사용 용도 | - 반도체 장비 등 Dry Etcher의 Bulk 세라믹 부품 제작 소재 |